半导体设备部件损坏原因技术鉴定

一、质量鉴定背景介绍

某半导体厂向设备供应商购买了半导体生产设备及配套部件，用于晶圆制造。购买后不久，半导体厂变电站内的220kV GIS开关室突发爆裂事故，导致工厂瞬间停电。用户遭遇的核心问题是：半导体设备的多个关键部件（如加热器、控制电路板等）受损，引发生产停顿和设备失效。用户为解决该问题，立即组织抢修团队：当天中午恢复供电，排查受损部件，并恢复部分生产；同时，联系设备供应商进行现场拆解评估。尽管努力修复，但部件损坏引发高额损失索赔。

二、司法委托与机构受理

某保险公估公司代表半导体厂委托专业的第三方质量检测机构进行技术鉴定。委托事项具体为：对涉案半导体设备部件的损失程度及其损坏是否与停电事故存在因果关系进行鉴定。苏州联正测试技术服务有限公司作为独立质量鉴定第三方机构，正式受理了此项设备损坏原因技术委托，鉴定工作涵盖36项受损部件，确保客观公正。

三、鉴定流程和方法

鉴定过程严格遵守技术规范，采用现场勘验、技术检测和动态测试等方法。工程师对受损部件逐一检验：

部件质量问题：例如，产品加热器背面一侧出现高温起泡痕迹，另一侧正常，表明内部温控芯片被瞬间浪涌电流损坏。

运行故障/隐患：在晶圆传输单元中，电机卡死损坏，导致传动机构错位，无法正常工作。

性能测试不达标：对控制电路板（如低压炉管EC电路板）进行电压测试时，多块电路板显示U9和U1芯片短路、电容异常，开机后运行不稳定，确认无法恢复功能。

四、鉴定机构给出的鉴定结论

综合现场勘验、技术测量及动态测试结果，苏州联正测试技术服务有限公司给出产品质量鉴定结论：涉案半导体设备部件均存在全部损坏（具体损失程度见表1），损坏原因与GIS开关室炸裂导致的突然断电有关。

五、服务优势

苏州联正测试技术服务有限公司是《产品质量鉴定程序规范》、《产品质量鉴定机构通用要求》的主要起草单位，已在全国3000家某院入册，拥有1000多名各领域专家，多年行业经验，具备CMA/CNAS资质，帮助委托方提供一站式服务，欢迎咨询苏州联正测试技术服务有限公司！